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數(shù)字勻膠機(jī) 自動勻膠機(jī) 型號：TJ1200
產(chǎn)品特點(diǎn)：
數(shù)字勻膠機(jī)是用于半導(dǎo)體，集成電路及激光全息商標(biāo)制造過程中，在硅片、掩模板、玻璃片、陶瓷片等基片上進(jìn)行涂布光刻（感光）膠的設(shè)備。本機(jī)的工作原理是利用旋轉(zhuǎn)時產(chǎn)生的離心力，將滴于基片上多余的光刻（感光）膠液甩去，在光刻（感光）膠表面張力和離心力的共同作用下，展成厚度均勻的膠膜。本機(jī)具有勻膠效率、使用方便等優(yōu)點(diǎn)，勻膠速度和勻膠時間分別可調(diào)，電器電路具有穩(wěn)定性，結(jié)構(gòu)合理，旋轉(zhuǎn)平穩(wěn)，轉(zhuǎn)速、時間采用數(shù)字顯示，直觀性強(qiáng)。本機(jī)可與光刻機(jī)配套使用。
【備 注】：
數(shù)字勻膠機(jī)TJ1200的主要技術(shù)參數(shù)見下表：
項(xiàng)目參數(shù)
工作電壓380V／220V
整機(jī)功率1200W
勻膠時間控制范圍0.01-99.99秒;0.01-99.99分
轉(zhuǎn)速0—8000RPM
裝片直徑(可根據(jù)用戶要求定制)φ35—75mm
勻膠工位(可根據(jù)用戶要求定制)1—4工位
外形尺寸長×寬×高 850×810×1600mm
凈重120kg
注：用戶有何特殊要求可協(xié)商。
數(shù)字勻膠機(jī) 勻膠機(jī) 型號：TJ800
產(chǎn)品特點(diǎn)：
本產(chǎn)品于涂膠和甩勻等工藝，它采用電源控制器，通過設(shè)定鍵可隨意調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)速與時間，啟動快、轉(zhuǎn)速穩(wěn)定、時間精確，并可長時間連續(xù)穩(wěn)定工作。使用本產(chǎn)品可以有效控制膠的厚度，并具有很好的均勻性、一致性。本產(chǎn)品操作方便、穩(wěn)定性高，具有較高的性能價(jià)格比，可廣泛應(yīng)用于科研生產(chǎn)。
【備 注】：
數(shù)字勻膠機(jī)TJ800的主要技術(shù)參數(shù)見下表：
項(xiàng)目參數(shù)
勻膠樣片尺寸300×100mm
轉(zhuǎn)速設(shè)置范圍300—9000轉(zhuǎn)/分
勻膠時間設(shè)置范圍1—3600秒
膠的不均勻性≤±3%
電機(jī)功率40W
轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)形式采用變頻電源控制器調(diào)節(jié)
外形尺寸長×寬×高 320×380×260mm
